Где применяют
Субтерагерцовый анализатор Anritsu VectorStar ME7838G применяют для зондовой характеризации микросхем, переходов и тестовых структур на полупроводниковой пластине. Один широкополосный свип связывает низкочастотное поведение прибора с миллиметровым и субтерагерцовым участком без смены системы. Это нужно при разработке модулей 6G, радаров, высокоскоростных трактов и компонентов для аэрокосмической техники.
Почему важен один непрерывный диапазон
Стыковка результатов, полученных на разных установках, создаёт разницу в плоскости калибровки, зондах и моделях ошибок. Непрерывное измерение облегчает построение единой модели и поиск широкополосных аномалий. В системе ME7838G заявлен диапазон от 70 кГц до 220 ГГц в одном свипе. Выше этой границы применяют диапазонные модули, поэтому требование к верхней частоте задают до выбора архитектуры.
Как выбрать субтерагерцовый анализатор Anritsu VectorStar ME7838G
Для подбора нужны тип пластины и прибора, диапазон, требуемая мощность на контактах, динамический диапазон и набор калибровок. Исполнение G оптимизировано для зондовой работы до 220 ГГц. Помимо основного блока в конфигурацию входят миллиметровые модули, зонды, зондовая станция, калибровочные подложки и стабильное позиционирование. Это единая измерительная система, а не отдельный настольный прибор.
Калибровка на пластине
В зондовой схеме плоскость калибровки переносят к кончикам зондов с помощью мер на подложке. Метод выбирают по типу линии и набору мер, а коэффициенты подложки включают в расчёт. Зонды позиционируют без бокового усилия и излишнего проскальзывания. Контрольную меру измеряют до и после серии образцов, чтобы отделить дрейф системы от разброса параметров приборов.
Состав технического задания
В ТЗ указывают полосу, типы тестируемых структур, материал подложки, размер контактных площадок, требуемую мощность и порядок подачи смещения. Отдельно задают температурный контроль, допустимый дрейф и метод оценки неопределённости. Без этих данных нельзя корректно выбрать зонды, меры и модули. Смежные СВЧ-решения для лаборатории представлены в каталоге.
На субтерагерцовых частотах даже малое изменение положения зонда или касания площадки заметно меняет фазу. Поэтому рабочее место защищают от вибрации и воздушных потоков, а положение головок фиксируют. Контрольную меру измеряют между сериями, а время после калибровки ограничивают по результатам оценки дрейфа. В отчёте сохраняют тип мер, параметры подложки, вид контакта и число повторов.